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[发明专利]具有真空消除容积的真空发生单元-CN200510103934.9有效
发明人：俞在昶 -专利权人：新荣制御器株式会社
申请日： 2005-09-15 - 公布日： 2006-03-22 - 主分类号： F04F5/54 文献下载
摘要：一种真空发生单元被提供。所述真空发生单元包括：压力流体控制阀，其由导向电子阀控制；主体部分，其具有连接到压力流体控制阀的一个侧部；压力流体供应端口，其设置在主体部分的另一侧并被供以压力流体；真空端口，其用于形成和消除真空；和排放端口，通过该排放端口经过压力流体供应端口或真空端口的压力流体被排放，其中，在主体部分中形成通过从压力流体供应端口供应的压力流体在真空端口产生真空的真空发生部分、以及用于储存压力流体以消除在真空端口中形成的真空的第一和第二压力流体储存部分
具有真空消除容积发生单元

[发明专利]真空系统和真空系统的操作方法-CN201810492557.X在审
发明人： J·C·洛尔;M·C·格里芬 -专利权人：福特全球技术公司
申请日： 2018-05-22 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： F02M35/10 文献下载
摘要：本申请提供一种真空系统和该真空系统的操作方法。所述真空系统包括耦合到进气歧管的壳体的真空吸气器，所述真空吸气器包括空气进气端口、真空端口和歧管端口。所述真空系统还包括穿过进气歧管的壳体的歧管真空通道和真空储存器通道，所述歧管真空通道耦合到歧管端口，并且所述真空储存器通道耦合到真空端口。
真空系统歧管真空储存器真空吸气器进气歧管真空端口真空通道耦合到壳体空气进气端口通道耦合穿过申请

[发明专利]处理衬底或晶圆的装置-CN201810974509.4在审
发明人：殷立钊;邱钰凌;杨裕隆;林鸿彬 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-08-24 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：真空装置包括处理室和连接至处理室的传送室。传送室包括一个或多个真空端口，传送室内部的气体通过该真空端口排出；以及通气端口，从该通气端口供应通气气体。一个或多个真空端口和通气端口布置为使得从至少一个通气端口至一个或多个真空端口的气流相对于传送室的中心线线对称。本发明的实施例还涉及用于处理衬底或晶圆的真空装置。
通气端口真空端口传送室衬底晶圆气体通过通气气体真空装置装置真空室内部线对称排出传送

[实用新型]双向真空端口吸盘-CN201721467179.7有效
发明人：赵应成 -专利权人：苏州吉尼尔机械科技有限公司
申请日： 2017-11-07 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双向真空端口吸盘，包括吸盘本体，所述吸盘本体连接在中空连接轴上，其特征在于：所述连接轴的端部设有第一真空端口，所述连接轴的侧壁上设有第二真空端口，所述第一真空端口和第二真空端口均与吸盘本体的负压吸附腔连通本实用新型的双向真空端口吸盘，设计两个真空端口，一个真空端口设置在连接轴的端部，一个真空端口设置在连接轴的侧壁，形成双向进气，多个吸盘串联组合安装时使用第一真空端口，同一方向顺次安装时使用第二真空端口，
双向真空端口吸盘

[发明专利]真空运行泵-CN201780095440.1有效
发明人：昆丹·辛格;C·L·张 -专利权人：惠普发展公司，有限责任合伙企业
申请日： 2017-08-01 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： F04B43/06 文献下载
摘要：本文描述真空运行泵的多个示例。在示例中，真空运行泵包括多个流体端口，诸如引入端口和引出端口。真空运行泵也可以包括流通端口和隔膜。流通端口可以提供多个流体端口中的流体流通。隔膜可以控制多个流体端口和流通端口。在真空运行泵的怠速状态下，隔膜可以与流通端口配合以使多个流体端口中的每个流体端口隔离。
真空运行

[发明专利]非接触支撑平台和用于生产其流体垫层的工作台-CN201780038534.5有效
发明人：罗宁·洛特曼 -专利权人：科福罗有限公司
申请日： 2017-03-06 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： B65G51/03 文献下载
摘要：一种非接触支撑平台包括分布在工作台表面上的压力端口，该压力端口各自连接至压力源。真空端口分布在该工作台表面上，该真空端口各自连接至真空源。通过该压力端口的向外流动和通过该真空端口的向内流动形成流体垫层以在距该工作台的非零距离处支撑工件。多个通道各自连接该真空端口中的至少两个以使流体能够在连接的真空端口之间流动。当连接的真空端口中的一个被该工件的边缘覆盖并且另一个没有被覆盖时，通过该连接的真空端口施加在该边缘上的吸力弱于施加在其中两个连接的真空端口都被覆盖的该工件的一部分上的吸力。
接触支撑平台用于生产流体垫层工作台

[实用新型]侧面真空端口吸盘-CN201721467191.8有效
发明人：赵应成 -专利权人：苏州吉尼尔机械科技有限公司
申请日： 2017-11-07 - 公布日： 2018-08-07 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种侧面真空端口吸盘，包括吸盘本体，所述吸盘本体连接在中空连接轴上，其特征在于：所述连接轴的侧壁上设有真空端口和定位孔，所述真空端口与吸盘本体的负压吸附腔连通；所述连接轴外套设有轴套，所述轴套上设有紧固孔本实用新型的侧进气吸盘，将吸盘的真空端口设计在连接轴的侧壁，多个吸盘串联组合安装时不会折弯气管，方便气管安装；另一方面，连接轴上增加轴套，吸盘安装在支架设备上后，通过第一紧固件穿过紧固孔抵接在定位孔的孔壁上
吸盘连接轴真空端口吸盘本体紧固孔轴套定位孔本实用新型紧固件侧壁抵接孔壁气管穿过负压吸附腔连接轴外套串联组合横向贯穿位置定位支架设备侧面中空放料进气吸料折弯连通

[实用新型]真空罐-CN201920322252.4有效
发明人：藤本哲也;小川贵广 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2019-03-13 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： F02M35/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种真空罐。该真空罐包括真空罐主体；设置在真空罐主体上的端口；及可装拆地连接在端口上，并与用于对真空罐主体进行负压输入或输出的管件连接的端口延长部。采用本实用新型的结构，通过相应于车辆规格而变更端口延长部，能将端口延长部以外的真空罐主体、端口、及所连接的管件作为通用构件使用，从而能容易地将管件组装在真空罐上。
真空罐端口延长本实用新型管件管件连接通用构件地连接可装拆负压组装变更输出

[实用新型]一种高低真空转换装置-CN201920040486.X有效
发明人：董冲;张启纲;李沅鸿;王果连;王飞龙 -专利权人：长垣县源宏包装新材料有限公司
申请日： 2019-01-10 - 公布日： 2019-10-08 - 主分类号： C08G63/78 文献下载
摘要：一种高低真空转换装置，在缩聚釜(4)与喷射真空泵(5)之间的气相管线上增设常开状态的三通阀，三通阀的端口C与缩聚釜的出口相连，其端口B与喷射真空泵的进口相连；在喷射真空泵(5)与液环真空泵(6)之间的气相管线上增设电动三通阀，电动三通阀的端口A通过旁路气相管线(2)与三通阀(1)的端口A相连，其端口B与液环真空泵的进口相连，其端口C与喷射真空泵的出口相连；缩聚釜处于低真空阶段时电动三通阀的端口A与端口B处于连通状态且端口C与端口B处于断开状态，釜内产生的气液混合物及低分子物质通过旁路气相管线跳过喷射真空泵直接由液环真空泵抽出，从而解决低真空阶段气相物质容易在喷射真空泵内沉积阻塞的问题。
喷射真空泵气相管线电动三通阀液环真空泵三通阀缩聚釜低真空阶段高低真空转换装置旁路增设低分子物质气液混合物常开状态断开状态连通状态气相物质跳过沉积进口阻塞出口抽出

[实用新型]真空负荷开关-CN201320163226.4有效
发明人：赵永和 -专利权人：浙江巨力电气有限公司
申请日： 2013-03-19 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： H01H33/66 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空负荷开关，包括隔离端口、真空灭弧室、隔离端口绝缘轴、真空灭弧室绝缘轴、壳体、操作机构、操作手柄，隔离端口与真空灭弧室分别一一对应设置在壳体两端，隔离端口绝缘轴和真空灭弧室绝缘轴设置在隔离端口与真空灭弧室之间，分别用于驱动隔离端口与真空灭弧室的开断，操作机构设置在壳体一侧，操作机构驱动隔离端口绝缘轴和真空灭弧室绝缘轴动作，操作手柄连接在操作机构外侧。真空灭弧室和隔离端口通过绝缘轴串联，两个绝缘轴均通过操作机构驱动，分闸后形成双断口，绝缘性能优越。
真空负荷开关

[发明专利]一种基于物联网远程控制的真空感应炉控制系统-CN202310423387.0有效
发明人：缪晓宇;李志刚;孙岳来 -专利权人：江苏美特林科特殊合金股份有限公司
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于物联网远程控制的真空感应炉控制系统，涉及程序控制系统领域，包括远程控制端口、物联网传输端口和真空炉端口，所述远程控制端口用于提供远程控制信号，控制真空炉的运行，并根据真空炉的反馈信号代入数据计算策略中计算真空炉的威胁系数，所述物联网传输端口用于构建远程控制端口与真空炉端口之间的信息流传输通道，所述真空炉端口用于对真空炉工作数据进行采集传输，并对远程控制端口的传输数据进行数据核对，若对比值大于对比阈值则将原控制信号传输回远程控制端口，请求远程控制端口确认，若对比值小于等于对比阈值，则运行控制信号，并将对比值数据传输至数据计算模块中，对控制指令进行初步判断。
一种基于联网远程控制真空感应炉控制系统

[实用新型]一种真空调节装置和显示屏检测设备-CN202122620756.4有效
发明人：杜庞飞;高磊 -专利权人：华兴源创（成都）科技有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：本实用新型的实施例公开了一种真空调节装置和显示屏检测设备，装置包括：真空吸附管线；位于真空吸附管线一端供气体进入的第一端口，位于真空吸附管线另一端用于吸附物料的第二端口；真空吸附管线包括与第一端口连接的第一主管线，与第二端口连接的第二主管线；位于真空吸附管线上的真空发生器；抓取物料时，真空发生器用于控制第二端口处于负压状态；放下物料时，真空发生器用于控制所述第二端口处于正压状态；所述真空调节装置还包括第三端口，所述第三端口与所述第二主管线通过第三主管线连接，所述第三主管线上设置有调速阀；所述调速阀被配置为用于在物料被抓取状态下，通过调节第三端口进入的气体流量，从而调节第二端口产生的吸力的值。
一种真空调节装置显示屏检测设备

[发明专利]真空保持设备及具有真空保持设备的晶片切割机-CN200710184817.9无效
发明人：吕学贤;陈英杰 -专利权人：京元电子股份有限公司
申请日： 2007-10-29 - 公布日： 2009-05-06 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种真空保持设备及一种具有真空保持设备的晶片切割机，真空保持设备包含有一进气端口、一输出端口、一真空产生器、一第一、第二电磁阀，一切换开关。进气端口接受气体来源，输出端口提供真空输出或气体输出，真空产生器具有气体入口、出口与真空出口。第一电磁阀的一端连接至进气端口，另一端连接至真空产生器的气体入口。第二电磁阀的一端以并联方式连接至进气端口与真空产生器的真空出口，另一端连接至输出端口。切换开关的一端连接至进气端口，另一端连接至真空产生器，正常操作时，切换开关为关闭，当突发的无电力状况发生时，切换开关为开启，使气体来源由此通路传输至真空产生器，以产生持续真空供晶片吸附。
真空保持设备具有晶片切割机

[发明专利]真空隔离的批处理系统-CN201910867052.1有效
发明人：阿瑟·凯格勒;凯文·巴贝拉;丹尼尔·古德曼 -专利权人：先进尼克斯有限公司
申请日： 2019-09-12 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：一种气相淀积系统包括一个真空腔室以及被配置成处理半导体衬底的两个或更多个处理模块。每个处理模块可移除地连接至所述真空腔室的相应端口，使得当连接到所述相应端口时，每个处理模块与所述真空腔室真空连通。端口密封机构，该端口密封机构被配置成在每个端口处形成真空密封，使得当第一端口被密封且第一处理模块与该第一端口断开连接时，在所述第一处理模块通向大气压力的同时在所述真空腔室内保持真空状态。
真空隔离批处理系统

[发明专利]真空环境下波纹管密封式轴承摩擦磨损试验的装置-CN202011631605.2在审
发明人：叶必卿;李蒙正;单晓杭;李研彪;曹鸿淼 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： G01N3/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空环境下波纹管密封式轴承摩擦磨损试验的装置，包括真空系统和加载系统；所述真空系统，提供摩擦磨损试验所需的真空环境和放置试验样品的平台；所述加载系统，提供摩擦磨损试验所需的加载平台；所述真空系统包括真空罐、摩擦磨损机构、抽气装置和波纹管组件；所述加载系统包括加载机构和升降机构；本发明提供的真空系统和加载系统可进行模拟太空真空环境下对轴承的摩擦磨损试验，具有较高的应用价值；在真空罐上开设了四个加载端口、观察窗、电连接输入端口、电连接输出端口和抽气端口，结构简单、紧凑，空间利用率高；本发明在真空罐的加载端口上固定安装了波纹管，实现了真空罐加载端口处的真空密封。
真空环境波纹管密封轴承摩擦磨损试验装置

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